機械工学科准教授? 山根大輔先生が Sensors and Mateirals Young Researcher Paper Award 2019を受賞されました!

山根先生から受賞のコメントをいただいております。

このたび、Sensors and Materials誌(出版社:MYU K.K.)より、Sensors and Mateirals Young Researcher Paper Award 2019 (highly commended paper)を受賞いたしました。これは投稿時に筆頭著者が40歳未満の論文から選出される賞です。

受賞対象論文の内容は、従来比で感度100倍以上、ノイズ10分の1以下の超高感度・低ノイズMEMS加速度センサの試作と評価になります。

MEMS(Microelectromechanical Systems、微小電気機械素子)とは、半導体微細加工技術を利用して製造したマイクロメートル寸法の三次元電子・機械デバイスの総称です。

本研究では、MEMS加速度センサの機械構造を従来のシリコンから高密度材料の金に置き換えることで、可動部質量に反比例する機械ノイズを低減しました。さらに、電解金めっきプロセスを用いてチップ面積を最大限利用可能な静電容量センサ構造を実現し、ミリメートル寸法の超小型センサによる1μGレベル(G:重力加速度)の検出見通しを得ました。

論文作成の際には共著者の皆様より多くのご指導・ご助言をいただきましたこと、この場にて改めて深くお礼申し上げます。今後も、MEMS技術のさらなる発展に貢献できるように精進してまいります。

 

論文情報

Title: A MEMS Accelerometer for Sub-mG Sensing

Authors: Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, and Kazuya Masu

https://doi.org/10.18494/SAM.2019.2122

Vol. 31, No. 9(2) pp. 2883?2894 (Special issue; Guest editor, Professor Hiroyuki Fujita)

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機械工学科准教授 山根大輔先生がSensors and Mateirals Young Researcher Paper Award 2019を受賞されました!